机电一体化总体设计过程中，应逐步形成哪些技术文件和图纸？

（1）系统工作原理简图；
（2）控制器、驱动器、执行器、传感器工作原理图等；
（3）总体设计报告；
（4）总体装配图；
（5）部件装配图。