半干式洗气法主要设备是半干式洗气塔，实际是一个喷雾干燥系统，利用高效雾化器将消石灰泥浆从塔底向上或从塔顶向下喷入干燥吸收塔中。酸性尾气与喷入的碱性泥浆可成同向流或逆向流的方式充分接触并产生中和作用。