题目内容 (请给出正确答案) [主观题] 根据自身的等离子体效果,使用的高频率电源几乎全部在阴极附近被消耗,因此在这个范围内,激以及分解反应活跃,薄膜形成比例也在高频率电源使用一侧最大。 提问人:网友shijiangchao 发布时间:2022-01-07 参考答案 查看官方参考答案 如搜索结果不匹配,请 联系老师 获取答案