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[单选题]

关于氧化速率下面哪种描述是正确的:

A.生长非常薄(<十几nm)的栅氧化层时,氧化速率服从线性规律>

B.温度升高氧化速率迅速增加

C.(111)硅比(100)硅氧化得快

D.有杂质(如Na、P等)存在,氧化速率降低

E.生长的氧化层较薄时,氧化速率服从线性规律

F.生长的氧化层较厚时,氧化速率服从线性线规律

提问人:网友grafnb 发布时间:2022-01-06
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B、小,横向扩散

C、大,场助扩散

D、大,氧化增强

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