硅片表面的颗粒沾污一方面来自净化间外带来的颗粒、净化服中的纤维，一方面是来自制造工艺引入，例如设备、原材料等等。

A. 塔顶

B. 塔中间

C. 塔底

D. 塔顶、塔底同时

A. 1）、应立即疏散附近的人员。2）、打开净化管道的放空阀，关闭进气阀。3）、打开净化间的门窗，保持通风。最好是用鼓风机对净化间进行鼓风，吹散泄露的沼气。4）、待沼气散尽后，叫专业人员对设备进行检修，寻找漏气原因。5）、查出原因后，有针对地进行修理。6）、一切恢复正常后，开启总电源，按开机步骤进行开机。

B. 1）、应立即疏散附近的人员。2）、打开净化管道的放空阀，关闭进气阀。3）、待沼气散尽后，叫专业人员对设备进行检修，寻找漏气原因。4）、查出原因后，有针对地进行修理。5）、一切恢复正常后，开启总电源，按开机步骤进行开机。

C. 1）、应立即打开净化管道的放空阀，关闭进气阀。2）、立即打开净化间的门窗，保持通风。最好是用鼓风机对净化间进行鼓风，吹散泄露的沼气。3）、疏散附近的人员。4）、待沼气散尽后，叫专业人员对设备进行检修，寻找漏气原因。5）、查出原因后，有针对地进行修理。6）、一切恢复正常后，开启总电源，按开机步骤进行开机。

D. 1）、应立即疏散附近的人员。2）、立即打开净化间的门窗，保持通风。最好是用鼓风机对净化间进行鼓风，吹散泄露的沼气。3）、打开净化管道的放空阀，关闭进气阀。4）、待沼气散尽后，叫专业人员对设备进行检修，寻找漏气原因。5）、查出原因后，有针对地进行修理。6）、一切恢复正常后，开启总电源，按开机步骤进行开机。

A、沉降

B、干燥

C、吸收

D、过滤

A、电源

B、接地

C、输入

D、输出