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[多选题]
自掺杂现象是指非反应气体有意掺入的杂质引起的外延层的掺杂现象,下面选项中()是减小自掺杂现象可采取的措施。
A.降低外延生长的温度
B.衬底背面用高纯硅或二氧化硅覆盖
C.用两步外延法
D.低压外延法
提问人:网友文旻昊
发布时间:2022-01-07
A.降低外延生长的温度
B.衬底背面用高纯硅或二氧化硅覆盖
C.用两步外延法
D.低压外延法
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