光刻工艺的主要流程有哪几步？什么是光刻工艺的分辨率？从物理角度看，限制分辨率的因素是什么？最常用的曝光光源是什么？

A.个人自评

B.党员互评

C.民主测评

D.组织评定

E.评定结果公布

A.获取模型

B.模型切片

C.3D打印

D.打印后处理

A.生成配置数据

B.SPU数据制作

C.填写规划数据

D.填充源文件及模板

A.确定范围

B.确定方法和工具

C.事实调查

D.调查分析

E.确定课程内容

A.扩散

B.刻蚀

C.光刻

D.蒸发