在干法刻蚀的终点检测方法中，光学放射频谱分析法最常见，简述其工作原理和优缺点。

A.电动机电流终点检测

B.光学干涉终点检测

C.红外终点检测

D.显微镜终点检测

此题为判断题(对，错)。

A.电动机电流法

B.光学干涉法

C.红外法

D.比色法

A.光学治疗

B.正位视训练

C.药物治疗

D.弱视治疗

E.放射治疗

A.研点法

B.拉钢丝法

C.水平仪检测法

D.光学平直仪检测法

A.化学作用

B.物理作用

C.化学作用与物理作用混合

D.其他选项都不正确