更多“离子注入的结深主要有注入的能量决定,杂质浓度分布是由剂量决定…”相关的问题
第1题
A、高能注入机
B、低能注入机
C、大束流注入机
D、中束流注入机
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第3题
【判断题】离子注入机是把中性原子电离后,引出离子束,用电磁场加速和聚焦,形成一定能量和脉冲宽度带电离子束的装置。()
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第6题
氢氧合成氧化时,氢氧的比例必须小于2:1,否则容易出现爆炸。
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第7题
离子注入后,晶格结构会产生损伤,因此需要进行__________工艺。
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第8题
电流流经一个长宽相等,厚度为Xj的扩散薄层所显示出来的电阻称为:__________。
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第9题
如果要生长厚度为1000埃的二氧化硅,需要消耗厚度为__________埃的硅。
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