题目内容
(请给出正确答案)
[单选题]
可以采取哪种方法来提高光刻分辨率?
A.缩短光源波长;
B.减小光学系统数值孔径;
C.减小分辨率系数;
D.增长光源波长;
E.增大光学系统数值孔径;
F.增大分辨率系数。
提问人:网友xiaofan2001
发布时间:2022-01-07
A.缩短光源波长;
B.减小光学系统数值孔径;
C.减小分辨率系数;
D.增长光源波长;
E.增大光学系统数值孔径;
F.增大分辨率系数。
A. 在个人预测能力的基础上调整估计值
B. 以其他公司的经验数据为基准
C. 进行时间和动作研究
D. 为以前做过的项目建立历史数据库
E. 以上所有都正确
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