题目内容 (请给出正确答案)
[单选题]

IC采用铝互连系统时,下列哪种方法可以避免Al-Si的尖楔现象:

A.在淀积的铝膜中掺入约1%Cu;

B.在淀积的铝膜中掺入约1%Si;

C.在淀积铝之前先淀积一薄层TiN薄膜;

D.在铝膜表面覆盖Si3N4。

提问人:网友haoba5666 发布时间:2022-01-07
参考答案
查看官方参考答案
如搜索结果不匹配,请 联系老师 获取答案
网友答案
查看全部
  • · 有3位网友选择 D,占比37.5%
  • · 有2位网友选择 B,占比25%
  • · 有2位网友选择 C,占比25%
  • · 有1位网友选择 A,占比12.5%
匿名网友 选择了B
[237.***.***.163] 1天前
匿名网友 选择了D
[154.***.***.161] 1天前
匿名网友 选择了C
[156.***.***.214] 1天前
匿名网友 选择了B
[237.***.***.163] 1天前
匿名网友 选择了C
[195.***.***.253] 1天前
匿名网友 选择了A
[135.***.***.18] 1天前
匿名网友 选择了D
[154.***.***.161] 1天前
匿名网友 选择了D
[232.***.***.113] 1天前
匿名网友 选择了D
[95.***.***.12] 1天前
匿名网友 选择了B
[153.***.***.198] 1天前
匿名网友 选择了C
[156.***.***.214] 1天前
匿名网友 选择了A
[135.***.***.18] 1天前
匿名网友 选择了C
[195.***.***.253] 1天前
匿名网友 选择了A
[135.***.***.18] 1天前
匿名网友 选择了D
[154.***.***.161] 1天前
匿名网友 选择了D
[232.***.***.113] 1天前
匿名网友 选择了D
[95.***.***.12] 1天前
匿名网友 选择了B
[153.***.***.198] 1天前
匿名网友 选择了C
[156.***.***.214] 1天前
匿名网友 选择了B
[237.***.***.163] 1天前
加载更多
提交我的答案
登录提交答案,可赢取奖励机会。
更多“IC采用铝互连系统时,下列哪种方法可以避免Al-Si的尖楔现…”相关的问题
第1题
在SiO2/Si刻蚀过程中等离子体对硅的刻蚀速率必须控制在非常低的程度,否则SiO2被清除的同时硅也大量被侵蚀。
点击查看答案
第2题
单晶硅刻蚀一般采用 做掩蔽层。(在下面选择一个,填入) 光刻胶、金属、二氧化硅、多晶硅
点击查看答案
第3题
LOCOS的2)、3)工艺步骤是采取下列哪种工艺方法: [图]A...

LOCOS的2)、3)工艺步骤是采取下列哪种工艺方法:

A、2)热氧化生长SiO2

B、2)APCVD制备SiO2

C、3) RIE去除Si3N4

D、3) HF腐蚀去除Si3N4

点击查看答案
第4题
通常采用重掺杂硅与金属接触来实现互连系统的欧姆接触,此时硅的掺杂浓度N> atoms/cm3。

A、10∧18

B、10∧19

C、10∧20

D、10∧21

点击查看答案
第5题
CMOS IC的电隔离通常是采用pn结隔离。
点击查看答案
第6题
表征电迁移现象的MTF是指 %互连线失效的时间。
点击查看答案
第7题
CZ法拉不出高阻单晶硅锭的主要原因是:

A、坩埚材料分解出的氧会进入硅锭;

B、干锅清洗不干净造成;

C、多晶硅原料纯度不够高;

D、气相杂质融入熔体再进入了硅锭。

点击查看答案
第8题
关于硅的热氧化,下面哪种说法正确:

A、湿氧比干氧慢得多;

B、水汽氧化层比干氧氧化层致密;

C、氧化反应是在Si/SiO2界面发生的;

D、升高氧气(或水汽)分压不影响生长速率。

点击查看答案
第9题
实际VPE工艺温度多在质量传递控制区,此时外延速率:

A、对温度非常敏感;

B、对温度不太敏感;

C、源的气相扩散的影响不大

D、源气体分压的影响不大。

点击查看答案
第10题
在D-G模型中假定稳定生长氧化层时,氧化剂的气相输运、固相扩散和化学反应三个流密度应:

A、不等;

B、相等;

C、气相输运>固相扩散>化学反应;

D、气相输运 <固相扩散> <化学反应。>

点击查看答案
账号:
你好,尊敬的用户
复制账号
发送账号至手机
密码将被重置
获取验证码
发送
温馨提示
该问题答案仅针对搜题卡用户开放,请点击购买搜题卡。
马上购买搜题卡
我已购买搜题卡, 登录账号 继续查看答案
重置密码
确认修改
欢迎分享答案

为鼓励登录用户提交答案,简答题每个月将会抽取一批参与作答的用户给予奖励,具体奖励活动请关注官方微信公众号:简答题

简答题官方微信公众号

警告:系统检测到您的账号存在安全风险

为了保护您的账号安全,请在“简答题”公众号进行验证,点击“官网服务”-“账号验证”后输入验证码“”完成验证,验证成功后方可继续查看答案!

微信搜一搜
简答题
点击打开微信
警告:系统检测到您的账号存在安全风险
抱歉,您的账号因涉嫌违反简答题购买须知被冻结。您可在“简答题”微信公众号中的“官网服务”-“账号解封申请”申请解封,或联系客服
微信搜一搜
简答题
点击打开微信