题目内容（请给出正确答案）

[单选题]

与小平面源相比，点蒸发源具有等特点。

A.膜厚分布均匀

B.原料浪费少

C.沉积速率较低

D.薄膜纯度高

提问人：网友rwxyzi 发布时间：2022-01-07

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ABCD

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