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什么是干法刻蚀？干法刻蚀相比于湿法腐蚀的优点有哪些？...

什么是干法刻蚀？干法刻蚀相比于湿法腐蚀的优点有哪些？

提问人：网友txnd8888 发布时间：2022-01-07

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第1题

刻蚀技术分湿法刻蚀和干法刻蚀两种，湿法刻蚀是指化学腐蚀，干法刻蚀容易出现钻蚀问题。

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第2题

湿法腐蚀比干法刻蚀的各向异性好。

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第3题

干法刻蚀和湿法刻蚀二者中，通常（）的刻蚀选择比较高，（）的刻蚀通常是各向异性。

A.湿法刻蚀干法刻蚀

B.干法刻蚀湿法刻蚀

C.湿法刻蚀湿法刻蚀

D.干法刻蚀干法刻蚀

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第4题

什么是干法刻蚀？什么是湿法刻蚀？比较二者的优缺点。

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第5题

什么是干法刻蚀？什么是湿法腐蚀？两者所形成的刻蚀剖面有何区别？

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第6题

题3-1-10 与湿法腐蚀比较，以下是干法刻蚀的优点是：。

A.保真度好，图形分辨率高；

B.高选择比

C.速度快

D.设备简单

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第7题

硅的湿法刻蚀腐蚀液为热磷酸，干法刻蚀所用的气体为NF3

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第8题

与干法刻蚀相比，湿法腐蚀的好处在于对下层材料具有高的选择比，对器件不会带来等离子体损伤，并且设备简单。

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第9题

湿法刻蚀的选择性干法刻蚀。

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第10题

晶体硅常用的刻蚀方法有干法刻蚀和湿法刻蚀（）

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