常用的化学气相沉积有几种？简述其各自的优缺点。

什么叫化学气相沉积？常用的化学气相沉积方法有哪些？

简述气相色谱几种常用的检测器及使用注意事项。

A.等离子增强化学气相沉积

B.热丝化学气相沉积制备多晶硅

C.低压化学气相沉积制备多晶硅

D.非晶硅晶化制备多晶硅薄膜

A.微波等离子体化学气相沉积

B.热丝化学气相沉积

C.光诱导化学气相沉积

D.直流等离子体化学气相沉积

A.化学气相沉积法

B. 物理气相沉积法

C. 盐浴浸镀法

D. 等离子喷涂

气相沉积技术工艺方法有

A真空蒸镀

B溅射镀

C离子镀

D化学气相沉积

A.液相外延（LPE）法

B.化学气相沉积（CVD）法

C.等离子增强化学气相沉积（PECVD）法

D.低压化学气相沉积（LPCVD）