生产中可以通过减小数值孔径来提高光刻的分辨率。

A、斜距分辨率

B、地距分辨率

C、方位分辨率

D、角度分辨率

A．显微镜的数值孔径越大，其分辨率越低

B．显微镜的景深随其数值孔径的增大而增大

C．显微镜采用浸液物镜的目的是为了获得更大的数值孔径

D．显微镜系统的分划板即是系统的孔径光阑

A、放大倍数

B、分辨率

C、工作距离

D、视场宽度

A. 使用短波长光源

B. 增大孔径角

C. 缩小孔径角

D. 增加明暗反差

E. 提高数值孔径值

A、缩短光源波长；

B、减小光学系统数值孔径；

C、减小分辨率系数;

D、增长光源波长；

E、增大光学系统数值孔径；

F、增大分辨率系数。