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第2题
机械密封工作时气震(飞溅和溅射)的原因是( )。
(A)密封面介质汽化
(B)密封面介质闪蒸
(C)密封腔压力高
(D)密封腔温度低
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第3题
下列()不属于物理气相淀积?
A、磁控溅射和射频溅射
B、电子束蒸发
C、电阻丝加热蒸发
D、ICP-CVD
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第4题
当气体成分和电极材料一定时,等离子体的击穿电压与 有关。
A、溅射气压
B、溅射功率
C、靶基距
D、溅射气体种类
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第5题
离子镀技术结合了蒸镀和溅射镀膜两种技术的优点,分别是()。
A、沉积速度快
B、和膜层结合力高
C、绕射性好
D、可镀材料广泛
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第6题
冲洗绝缘子时,应注意风向,对于上、下层布置的绝缘子应先冲_____,后冲_____。
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第7题
溅射产物有原子、原子团等中性粒子、以及二次电子、二次离子等,主要产物是中性粒子。()
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第9题
以下因素中哪些不是影响外延生长速率的因素
A、反应温度
B、四氯化碳的浓度
C、衬底晶向
D、抛光速度
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