题目内容
(请给出正确答案)
[主观题]
纳米光刻系统最重要的指标是()。
提问人:网友sibeichen
发布时间:2022-01-07
A.两者都可用于制备纳米图形
B.纳米压印技术对操作环境的要求更高
C.纳米压印技术可以在圆柱形衬底上制备图形
D.纳米光刻版材料的选择性更广
E.纳米光刻工艺成本更低
F.有些纳米压印法可采用柔性材料来制备模板
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