题目内容（请给出正确答案）

[多选题]

在金属铜的双大马士革铜抛光工艺中，研磨通常包括下面哪几步？（)

A.磨掉晶圆表面的大部分金属

B.降低研磨速率的方法精磨与阻挡层接触的金属，并通过终点侦测使研磨停在阻挡层上

C.磨掉阻挡层以及少量的介质氧化物

D.用大量的去离子水(DIW)清洗研磨垫和晶圆两侧表面

提问人：网友文旻昊 发布时间：2022-01-07

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第1题

双大马士革铜抛光工艺中可能出现的缺陷有（)。

A.一定会有大面积的凹陷出现

B.存在铜的侵蚀

C.会产生许多表面污染颗粒、表面铜残留和BTA的残余

D.金属氧化物上的金属残留物可能导致电学短路

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第2题

金属材质的电脑笔记本表面的细腻条纹状肌理所使用的加工工艺是

A.表面锻打

B.阳极氧化

C.金属拉丝

D.研磨抛光

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第3题

外圆表面的主要加工方法有车削、磨削、研磨和抛光等。

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第4题

研磨主要靠化学作用除去零件表面层金属的一种加工方法。（)

研磨主要靠化学作用除去零件表面层金属的一种加工方法。()

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第5题

研磨是用专用研磨工具和研磨剂从工件表面磨掉很薄的一层金属，不能在钻床上进行。（)

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第6题

研磨是用研磨工具和研磨剂从零件表面磨掉极薄的一层金属的加工方法。 ()此题为判断题(对，错)。

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第7题

研磨和抛光是玻璃制品表面重要的冷加工方法之一，简称为磨光。以下哪种工艺可以去除玻璃制品表面的裂纹层，使玻璃表面变得光滑透明并具有光泽？

A.研磨

B.抛光

C.钢化

D.表面镀膜

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第8题

红蓝宝石的加工方法（)

A.设计切割抛光研磨

B.设计切割研磨抛光

C.切割设计研磨抛光

D.设计抛光切割研磨

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第9题

用研磨工具和研磨剂从工件表面上磨掉一层极薄的金属，使工件达到精确的尺寸、准确的几何形状和大面积的表面粗糙度值，这种加工方法称为研磨。（)

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第10题

金属铝互连时，常常采用双大马士革工艺。

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