半导体中的离子注入掺杂是把掺杂剂（)加速到的需要的（)，直接注入到半导体晶片中，并经适当温度

半导体中的离子注入掺杂是把掺杂剂()加速到的需要的()，直接注入到半导体晶片中，并经适当温度的()。