![](https://lstatic.shangxueba.com/jiandati/h5/images/m_q_title.png)
[单选题]
光刻工艺是按照下列哪种流程顺序进行操作?
A.打底膜、涂胶、前烘、曝光、坚膜、显影、刻蚀、去胶
B.打底膜、前烘、涂胶、曝光、坚膜、显影、刻蚀、去胶
C.打底膜、涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、刻蚀、去胶
D.打底膜、涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、去胶、刻蚀
提问人:网友hhhh7118
发布时间:2022-01-06
A.打底膜、涂胶、前烘、曝光、坚膜、显影、刻蚀、去胶
B.打底膜、前烘、涂胶、曝光、坚膜、显影、刻蚀、去胶
C.打底膜、涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、刻蚀、去胶
D.打底膜、涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、去胶、刻蚀
A、确定图案的精确形状和尺寸;
B、步进曝光机一次就可以完成曝光;
C、使受光照射区域的光刻胶膜发生化学反应形成潜影;
D、需要进行准确对版后再曝光,才能保证各次光刻的套准精度。
为了保护您的账号安全,请在“简答题”公众号进行验证,点击“官网服务”-“账号验证”后输入验证码“”完成验证,验证成功后方可继续查看答案!