X射线光刻、电子束光刻和极紫外光刻技术均是通过减小光源波长来提高分辨率的先进光刻技术。（)

A.电子束光刻

B.离子束光刻

C.X射线光刻

D.浸润式光刻

此题为判断题(对，错)。

A.缩短光源波长；

B.减小光学系统数值孔径；

C.减小分辨率系数;

D.增长光源波长；

E.增大光学系统数值孔径；

F.增大分辨率系数。

A.汞灯

B.X射线

C.准分子激光

D.红外线

简述纳米光刻技术的基本过程和原理，并分析提高传统光刻技术分辨率的主要途径。