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[单选题]
根据平坦化的程度不同分为以下几种(术语)
A.平滑处理
B.部分平坦化
C.局部平坦化
D.全局平坦化
提问人:网友yilufeige
发布时间:2022-01-07
A.平滑处理
B.部分平坦化
C.局部平坦化
D.全局平坦化
A.平坦化不同的材料,各种各样的硅片表面能被平坦化
B.在同一次抛光过程中对平坦化多层材料有用
C.能获得全局平坦化
D.由于减小了表面起伏,从而能改善金属台阶覆盖
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